主要性能参数

晶体结构

面心立方

熔点（℃）

1420

密度

2.4（g/cm³）

导电类型/掺杂物质

I型非掺

P掺B

N掺P

电 阻 率

>1000Ωcm

10^-3~10⁴Ωcm

10^-3~10⁴Ωcm

E P D

≤100∕cm²

≤100∕cm²

≤100∕cm²

氧含量（∕cm3）

≤1~1.8×101⁸

≤1~1.8×10¹⁸

≤1~1.8×10¹⁸

碳含量（∕cm3）

≤5×10¹⁶

≤5×10¹⁶

≤5×10¹⁶

尺寸

10×10mm、15×15mm、Dia50.8mm、Dia76.2mm、Dia100mm

可按照客户需求，定制特殊方向和尺寸的基片

厚度

0.3-0.5mm、1.0mm

尺寸公差

<±0.1mm

厚度公差

<±0.015mm特殊要求可达到<±0.005mm）

抛光

单面或双面

晶面定向精度

±0.5°

边缘定向精度

2°（特殊要求可达到1°以内）

取向

<100>、<110>、<111>等

包装

100级洁净袋，1000级超净室